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      深圳市金徠技術有限公司

      ShenZhen City JinLai Technology Co., Ltd.

       聯系電話:13538058187 

      LED封裝等離子體清洗機

      產品型號: JL-IVM-020
      工作方式:離線真空式
      ? 粘片前進行處理,提高芯片附著力;
      ? 鍵合前進行處理,提高鍵合強度;
      ? 塑模和封裝前進行處理,減少封裝分層;
      ? 硅晶片的蝕刻與表面有機物的清洗
      ? Flip chip采用underfill工藝底部填充前進行處理,可以提高填充速度、減少空洞率、增加填充高度及一致性、增加填充物的附著力。

      LED封裝等離子體清洗機

       產品型號:JL-IVM -020

       工作方式:離線真空式

      主要功能:LED/半導體封裝工序plasma 清洗活化。


      ?  針對LED,IC封裝工序設計。整個料架放入機器,避免人工取放產品二次污染。

      ?  模塊化設計,組件更換靈活,切換產品快速。

      ?  采用13.56MHZ電源,清洗時間短,無濺射,溫度低。

      ?  運行過程實時監控,動畫指示工作過程,一目了然。

      ?  設備操作權限分級管理,便于管控。

      ?  設備運行狀態可追索,生產過程可管控。

      ?  故障報警可追索,有提示,快速排查故障部位,便于維護。


      技術規格

      產品型號JL-IVM-020
      主機處形尺寸850*950*1650MM
      腔體尺寸
      400*500*600MM
      材料316不銹鋼(或航空鋁)
      等離子電源
      功率0~500W可調
      頻率

      13.56MHZ

      真空系統
      真空泵真空泵+蘿茨
      控制系統工藝氣體2路(可選配5路)
      真空硅
      電容式
      控制系統
      PLC&人機
      廠務要求
      電源AC380V-10A
      壓縮空氣
      0.5MPa~0.6MPa
      排氣接口
      KF40
      工藝氣體自備(氬,氮,氧,SF6,CF4等)


      LED封裝等離子體清洗機
      產品型號: JL-IVM-020
      工作方式:離線真空式
      ? 粘片前進行處理,提高芯片附著力;
      ? 鍵合前進行處理,提高鍵合強度;
      ? 塑模和封裝前進行處理,減少封裝分層;
      ? 硅晶片的蝕刻與表面有機物的清洗
      ? Flip chip采用underfill工藝底部填充前進行處理,可以提高填充速度、減少空洞率、增加填充高度及一致性、增加填充物的附著力。
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